超纯水系统
设 计 方 案
目 录
一、设计内容与要求 1
1、设计水量与水质 1
2、设计依据及设计规范 1
3、设计范围 1
二、处理工艺及说明 1
三、主要设备说明 1
1、自动砂滤 1
2、自动碳滤 2
3、自动软化 2
4、RO系统 3
5、混床 3
6、精混 3
8、TOC去除器 4
9、终端过滤器 4
四、系统控制 4
五、造价与运行成本 4
1、造价 4
2、运行成本 6
六、技术经济指标 7
七、售后服务及技术支持 7
前 言
纯水在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出,纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一,水质要求也越来越高。在电子元器件生产中,高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料,不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。
在电解电容器生产中,铝箔及工作件的清洗需用纯水,如水中含有氯离子,电容器就会漏电。在电子管生产中,电子管阴极涂敷碳酸盐,如其中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命,因此其