引晶工艺

引晶工艺技术待硅料完全熔化进行挥发吊渣和倒阀后进行稳定熔体温度稳定时参数设置晶转转埚转转炉压在液面距导流筒左右开始稳定时把温度控制在上一炉的欧陆温度上当温度调整到上一炉的温度时将温度控制器切换成自动进行稳定同时降籽晶距液面进行烘烤籽晶对籽晶进行预热试溫稳定分钟后把籽晶降入液面注意观察籽晶断不断如果籽晶降下去还断则还需降温若不断则表明温度基本合适可把埚转打到转出光圈过一段时间分钟再把籽晶慢慢降入液面看光圈出现的快慢光圈出现快则需降温一般约光圈出现慢或光圈有小角长出则还需加温一般需补温如果籽晶降入液面后光圈能在分钟内出现而且有双光圈出现不变大变小或长角说明这时的温度基本已经找好完成试溫熔接试溫完成后再把上次成晶的籽晶降入液面进行熔接并非一定要降到老籽晶处充分熔接一般需要分钟后准备引晶籽晶充分熔接后就可以计长清零埚转打至转开始引晶等待籽晶的双光圈慢慢长大或有四个小角出现就可以引晶了注意初引时拉速不易过高一般在左右之后再根据光圈的大小调整拉速使引出的细晶直径控制在长度在左右一般引晶的时间控制在分钟之间