多晶硅生产工艺流程.doc

多晶硅生产工艺流程简介来自于网络收集多晶硅生产工艺流程多晶硅最主要的工艺包括三氯氢硅合成四氯化硅的热氢化有的采用氯氢化精馏还原尾气回收还有一些小的主项制氢氯化氢合成废气废液的处理硅棒的整理等等主要反应包括三氯氢硅合成热氢化还原多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同因此生产工艺技术不同进而对应的多晶硅产品技术经济指标产品质量指标用途产品检测方法过程安全等方面也存在差异各有技术特点和技术秘密总的来说目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法硅烷法和流化床法改良西门子法是目前主流的生产方法采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美德日等家主要硅料厂商手中这些公司的产品占全球多晶硅总产量的它们形成的企业联盟实行技术封锁严禁技术转让短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变西门子改良法生产工艺如下这种方法的优点是节能降耗显著成本低质量好采用综合利用技术对环境不产生污染具有明显的竞争优势改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有氯化氢合成炉三氯氢硅沸腾床加压合成炉三氯氢硅水解凝胶处理系统三氯氢硅粗馏精馏塔提纯系统硅芯炉节