多晶硅生产工艺流程.doc

多晶硅生产工艺流程简介来自于网络收集多晶硅生产工艺流程多晶硅最主要的工艺包括三氯氢硅合成四氯化硅的热氢化有的采用氯氢化精馏还原尾气回收还有一些小的主项制氢氯化氢合成废气废液的处理硅棒的整理等等主要反应包括三氯氢硅合成热氢化还原多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同因此生产工艺技术不同进而对应的多晶硅产品技术经济指标产品质量指标用途产品检测方法过程安全等方面也存在差异各有技术特点和技术秘密总的来说目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法硅烷法和流化床法改良西门子法是目前主流的生产方法采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美德日等家主要硅料厂商手中这些公司的产品占全球多晶硅总产量的它们形成的企业联盟实行技术封锁严禁技术转让短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变西门子改良法生产工艺如下这种方法的优点是节能降耗显著成本低质量好采用综合利用技术对环境不产生污染具有明显的竞争优势改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有氯化氢合成炉三氯氢硅沸腾床加压合成炉三氯氢硅水解凝胶处理系统三氯氢硅粗馏精馏塔提纯系统硅芯炉节电还原炉磷检炉硅棒切断机腐蚀清洗干燥包装系统装置还原尾气干法回收装置其他包括分析检测仪器控制仪表热能转换站压缩空气站循环水站变配电站净化厂房等石英砂在电弧炉中冶炼提纯到并生成工业硅其化学反应为了满足高纯度的需要必须进一步提纯把工业硅粉碎并用无水氯化氢与之反应在一个流化床反应器中生成拟溶解的三氯氢硅其化学反应反应温度为度该反应是放热的同时形成气态混合物第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯需要分解过滤硅粉冷凝而气态返回到反应中或排放到大气中然后分解冷凝物净化三氯氢硅多级精馏净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺以高纯的在气氛中还原沉积而生成多晶硅其化学反应多晶硅的反应容器为密封的用电加热硅池硅棒直径毫米长度米数量根在度在棒上生长多晶硅直径可达到毫米这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应并生成多晶硅剩余部分同从反应容器中分离这些混合物进行低温分离或再利用或返回到整个反应中气态混合物的分离是复杂的耗能量大的从某种程度上决定了多晶硅的成本和该工艺的竞争力