验收标准

驗收標準測試項目無塵室之性能測試與驗證除按照下述要求外若有遺漏不詳盡敘述之處仍須依照FED209E及IESRPCC0062之測試標準作驗證DescriptionAsBuiltAtRestOperationAirVelocityOfCeilingFiltersXXAirParallelismXXCleanlinessRoomPressurizationXXAirLeakageXXTemperatureHumidityNoiseXVibrationXIlluminationXXStaticElectricityXXAirBalanceX說明1須執行2檢測數據僅供參考3X不須執行4微震Vibration測試之測量時機為無塵室建造前及建造完成後而製程設備尚未移入前AsBuilt標準值氣流速度AirVelocityofCeilingFilters此檢測計畫在於確認天花板過濾器出口風速是否合乎規範要求檢測儀器經校正合格有效期一年內之ThermalAnemometer測試於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法檢測點檢測點位於過濾器下方100處且每一過濾器取六點測試檢測儀器檢測時須以適當之架