验收标准

驗收標準測試項目無塵室之性能測試與驗證除按照下述要求外若有遺漏不詳盡敘述之處仍須依照FED209E及IESRPCC0062之測試標準作驗證DescriptionAsBuiltAtRestOperationAirVelocityOfCeilingFiltersXXAirParallelismXXCleanlinessRoomPressurizationXXAirLeakageXXTemperatureHumidityNoiseXVibrationXIlluminationXXStaticElectricityXXAirBalanceX說明1須執行2檢測數據僅供參考3X不須執行4微震Vibration測試之測量時機為無塵室建造前及建造完成後而製程設備尚未移入前AsBuilt標準值氣流速度AirVelocityofCeilingFilters此檢測計畫在於確認天花板過濾器出口風速是否合乎規範要求檢測儀器經校正合格有效期一年內之ThermalAnemometer測試於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法檢測點檢測點位於過濾器下方100處且每一過濾器取六點測試檢測儀器檢測時須以適當之架台支橕或延伸架固定每一檢測點須至少維持10秒驗收標準每一過濾器出口風速須符合設計之規格正負20內潔淨度Cleanliness此測試在於證明潔淨度合乎無塵室規範要求檢測儀器Laserparticlecounter03m1cfm檢測儀器須經校正合格且一年內者於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法每一無塵室潔淨度均須以Laserparticlecounter檢測檢測點將每一無塵室分割成數個9m2之區域供測試而測試點位於9m2區域之中心點高度為高架地板地板起1100高度每一檢測點測試時間為一分鐘檢測儀器檢測時須以適當之架台支橕或以延伸架固定驗收標準FS209E落塵控制量清淨度級數測定粒子m01020305501357531NA10350753010NA100NA750300100NA1000NANANA1000710000NANANA1000070100000NANANA100000700潔淨室各階段檢測標準清淨度級數測定粒子mASBUILTATRESTOPERATING1025101002050100100020050010001000020005000100001000002000050000100000室內壓力RoomPressurization此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態檢測儀器檢測儀器須經校正合格且有效期一年內者使用050mmAq刻度型壓力計或數字型壓差計均可測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件測試方法檢測點檢測點取每一無塵室地板上方1100高處測試兩分鐘室外大氣壓力假設為00mmAq壓力於AsBuilt階段正常動作下之排氣系統排氣量調整為平衡狀態驗收標準壓力測試結果須較規範值高020過濾器洩漏FilterLeakage此測試目的在確保所有安裝在天花板格柵系統之過濾器絕無洩漏情形檢測儀器檢測儀器採Laserparticlecounter03m10cfm其須經校正合格且有效期為一年以內者於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格之文件檢測方法於室溫濕度室壓及空氣流速等均合乎規範之條件下調整空氣系統至平衡狀態以過濾器下方100處作為取樣空氣點取樣探針須全面掃描過濾器是否洩漏取樣探針掃描速度須50sec而每一過濾器掃描時間為八分鐘取樣探針之取樣直徑38過濾器四周可以塑膠覆蓋以確保不洩漏驗收標準於無塵室內洩漏量不得大於10pcsmin03mparticle溫度及濕度TemperatureandHumidity此項檢測係確認無塵室內溫度及濕度均在要求範圍內檢測儀器檢測精確能力可達01之電子溫度計或同級品檢測精確能力可達05之電子濕度計或同級品上述檢測儀器均須校正合格且在有效期一年內者測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法無塵室內每區取一點並位於地板上方1100之高度處每一檢測點至少須測試15MIN特殊檢測於AsBuilt階段時乙方須準備並提供48小時之溫度濕度連續監控數據驗收標準檢測及監測數據均須在規範要求範圍內噪音值NoiseLevel此項測試在於確認無塵室之噪音值係控制在甲方期望之範圍內檢測儀器含octavebandanalyzersoundlevelmeter及適當之支撐座且這些儀器均須校正合格並在一年內有效期內測試前及交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法檢測點每區無塵室取6點或室面積小於40m2者取1點且地板上方1100之高度處確實檢測點爾後再行訂定唯有在無塵室內空氣流速流量潔淨度室內溫度濕度均在規範要求範圍內且HVAC處於正常運轉之情形下方可實施檢測驗收標準室內噪音度須65dBA震動Vibration此檢測係確保無塵室之建造不影響甲方之抗震需求檢測儀器適合檢測加速度及位移之低頻及可變波段震動儀器測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法檢測位置係位於地板面0處檢測時機二次一次於無塵室施工前一次於AsBuilt階段驗收標準此部份僅供業主參考照明Illumination此項檢測係確保照明均符合規範要求檢測儀器經校正合格一年內有效期內並符合JIS1609規格之亮度計測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件檢測方法檢測點每30M2取1點並位於高架地板上方1100處檢測時機檢測須在所有燈光系統打開30分鐘後方可施行驗收標準檢測結果須符合規範要求