昆明理工大学毕业设计(论文)
调 研 报 告
题 目:三维微纳米精密位移平台及微小力系统设计
学 院: 机电学院
专 业: 机械工程及自动化
年级班级: 10级2班
学生姓名: 李雪洁
学 号: 201010301253
指导教师: 杨晓京
日 期: 2014年4月
昆明理工大学
0 引言
走进二十一世纪,随着微电子技术、航空航天技术、集成电子制造和生物工程等高新技术的发展,制造技术对加工精度和加工质量提出了更高的要求。在激烈的国际竞争中,精密加工和超精密加工技术和装备,直接影响着很多具有重要战略意义的先进技术产品的制造。精密精工甚至是超精密加